Gerelateerde parameters:
Projecten | Beschrijving |
SE resolutie | 3.0nm (30kV), Hoge vacuümmodus / 10nm (3kV), hoge vacuümmodus |
BSE resolutie | 4.0nm (30kV), Laag vacuümmodus |
Vergroot | x5 ~ x300,000 |
Versnelde spanning | 0.3 ~ 30 kV |
Laag vacuümbereik | 6 ~ 270 Pa |
Maximale steekproefgrootte | Diameter 200mm |
Voorbeeld Stand | Type I Type II |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360o 360o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
Maximale monsterhoogte | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
Type aandrijver | Handmatige vijf-assige motoraandrijving |
Lampen | Pre-pairing wolfram draad |
Objectlichtbalk | Verwijderbare 4-gaten lensbalk |
Pistol druk | Fixed proportional bias, handmatige bias en automatische 4-bias |
Detector | Secondaire Elektronische Detector Hoge Gevoeligheid Halfgeleider Terugverspreiding Elektronische Detector |
Locatie analyseren | WD=10mm, TOA=35o |
Controle | Muis, toetsenbord, handknoppen |
Automatische aanpassing | Automatische draad verzadiging, automatische 4 bias druk, automatische pistolen midden, automatische stroominstelling, automatische fusie, automatische focus |
Gedetailleerde beschrijving
1. S-3400N heeft krachtige automatische functies, waaronder automatische draad verzadiging, 4 bias druk, automatische pistool paar middel, automatische stroom instelling,
Automatische focus en afmatting, automatisch helderheidscontrast enz.
Bij lage versnellingsspanning van 3kV wordt een resolutie van 10nm gegarandeerd.
3. Nieuwe 5-splitsing hooggevoelige halfgeleidersoort achterverspreidingsonde.
4. Type S-3400N II heeft een vijf-assige motortafel met een kantelhoek van -20 ~ + 90 graden en een monster van maximaal 80 mm.
Het analysemonster depot kan EDX, WDX en EBSD tegelijkertijd installeren.
6. Vacuümsysteem met behulp van turbomoleculaire pompen, schoon en efficiënt