OTL-PECVD-1200-1400-1200 drietemperatuurzone PECVD-systeem, bestaande uit drie schuifbare vacuümbuisovens, kwarts vacuümkamer, radiofrequentie-voeding, GX-gastoevoersysteem, pompsysteem, vacuümmeetsysteem en elektrische sleepmachine.

Belangrijkste kenmerken:

1, door de radiofrequentie stroomvoorziening van het gas in de kwarts vacuümkamer in een ionische toestand.

PECVD heeft een lagere temperatuur dan normale CVD voor de afzetting van chemische gassen

3, de spanningsgrootte van de afgelegde film kan worden gecontroleerd door de frequentie van de radiofrequentie-voeding

4, PECVD is hoger dan de normale CVD voor chemische gasfase afzetting snelheid, goede uniformiteit, consistentie en hoge stabiliteit.

Veel toegepast in: de groei van verschillende dunne films, zoals: SiOx, SiNx, SiOxNy en amorofoom silicium (a-Si: H) enz.

Dit PECVD-systeem met drie temperatuurzones is een PECVD-systeem dat snel kan verwarmen en koelen, waarbij een paar elektrische schuifbanen in drie buisovens zijn geïnstalleerd en een elektrisch schuifsysteem beschikbaar is. Verwarmings- en koelsnelheden tot maximaal 100°C/min. Om de snelste verwarming te bereiken, kan de oven vooraf worden verwarmd tot de ingestelde temperatuur en vervolgens de oven naar de monsterplaats verplaatsenPlaats. Voor de snelste afkoeling kan de oven na het verwarmen van het monster naar de andere kant worden verplaatst. Verwarmings- en koelsnelheden kunnen worden bereikt onder vacuüm of inerte gassen10 ° C / s, een PECVD-systeem met twee temperatuurzones voor snelle verwarming en koeling met lage kosten.

Dit drietemperatuurzone PECVD-systeem met Zweedse Kanthal-weerstandsdraad en silicium-koolstofstaaf als verwarmingselement, met behulp van een dubbele behuizingsstructuur en een 30-segmenten programma-temperatuurmeter, fase-verschuiving, controleerbare silicium-controle, de oven maakt gebruik van geïmporteerde polykristalline vezelmateriaal uit Japan, de buis aan beide uiteinden van de oven wordt afgedicht met een roestvrijstalen flens, met een luchtmond en een klep op de roestvrijstalen flens.En de drukmeter, het vacuüm bij het pompen van het vacuüm kan 10-3 Pa bereiken, verdeeld in twee temperatuurzones, twee temperatuurzones kunnen onafhankelijk worden gecontroleerd, verschillende temperatuur instellen, gemakkelijk te gebruiken, eenvoudig te bedienen, de oven heeft een temperatuurveld evenwicht, lage oppervlaktetemperatuur, snelle koeltemperatuur, energiebesparing en andere voordelen, is universiteiten, wetenschappelijke instituten, mijnbedrijven om hoge temperatuur atmosfeer te verbranden Het ideale product voor knooppunten, het groeien van grafeen, het groeien van verschillende dunne films.

(1), de hete dikte van de silicium koolstofstaaf is 14mm, de algemene fabrikant gebruikt 12mm, de verwarmingskant is dik, niet gemakkelijk te buigen, de oppervlaktebelasting van de staaf is laag en de levensduur is lang.

（2), m koude lengte is 210 mm, de algemene fabrikant maakt gebruik van 180 mm, koude lange oventop temperatuur is laag.

(3), het oppervlak van silicium koolstofstaaf oxidatie niet-kristalline film dicht, kan de koolstofstaaf beter beschermen.

Het lege circuit wordt automatisch afgesloten bij overstroom of lekkage

De atmosfeer buisovensterkanUitgerust met een communicatie-interface en software, kan de verschillende parameters van de oven rechtstreeks via de computer worden gecontroleerd, en kan de PV- en SV-temperatuurwaarden en de werking van de meter op de oven van de computer worden waargenomen, de werkelijke opwarmingscurve van de oven zal in realtime worden getekend en de temperatuurgegevens van elk moment kunnen worden opgeslagen.

(1) Vacuüm aspiratie vormen van hoge kwaliteit hoge zuiverheid aluminiumoxide polykristalline vezel hardening oven.
(2) Het gebruik van Japanse technologie.
(3), het materiaal van de oven heeft een lage thermische capaciteit en een lage thermische geleidingcoëfficiënt, waardoor minder warmte wordt afgekoeld, goede isolatie en een hoge reflectiviteit. temperatuur evenwicht.
(4), de oven aluminiumoxide draad fijn en lang, hoge temperatuurbestendigheid, sterke koelkapaciteit tegen warmte stijging
(5), het oppervlak van de oven is schoon en niet gemakkelijk om poeder af te vallen.

(Alle ingevoerde apparaten zijn UL gecertificeerd)