CVD-systeem bestaat uit het gastoevoersysteem + buisovens + pompsysteem, de maximale temperatuur kan 1200 graden, 1400 graden, 1600 graden, 1700 graden bereiken, het verwarmingsgebied kan een enkele temperatuurzone, een dubbele temperatuurzone, een drietemperatuurzone enz. zijn, het limietvacuüm kan 10-3Pa bereiken, het gastoevoersysteem is stroomregeling kan een protonstroommeter of een floater-stroometer zijn, het aantal gemengde gaswegen kan 2, 3, 4, 5 fasen zijn.

Het KTL-CVD-1400 monotemperatuurzone CVD-systeem bestaat uit een 3-weg gastoevoersysteem + KTL1400 buisovens + vacuümsysteem.

(1), de hitte van de silicium molybdenum staaf dikte D1 is 7mm, de algemene fabrikant gebruikt 6MM, de verwarming van de dikte, niet gemakkelijk te buigen, de oppervlaktebelasting van de staaf is laag en de levensduur is lang.

（2), het gebruik van warmtebuigende technologie, uniforme weerstand, lange levensduur

(3), Lu koude lengte is 210 mm, 400X300X300 oven is 260, de algemene fabrikant maakt gebruik van 180 mm, koude lange oventop temperatuur is laag.

(4), het oppervlak van de oxidatie van de niet-kristalline film van de silicium-molybdeenstaaf is dicht en kan de silicium-molybdeenstaaf beter beschermen.

Het lege circuit wordt automatisch afgesloten bij overstroom of lekkage

De atmosfeer buisovensterkanUitgerust met een communicatie-interface en software, kan de verschillende parameters van de oven rechtstreeks via de computer worden gecontroleerd, en kan de PV- en SV-temperatuurwaarden en de werking van de meter op de oven van de computer worden waargenomen, de werkelijke opwarmingscurve van de oven zal in realtime worden getekend en de temperatuurgegevens van elk moment kunnen worden opgeslagen.

(1) Vacuüm aspiratie vormen van hoge kwaliteit hoge zuiverheid aluminiumoxide polykristalline vezel hardening oven.
(2) Het gebruik van Japanse technologie.
(3), het materiaal van de oven heeft een lage thermische capaciteit en een lage thermische geleidingcoëfficiënt, waardoor minder warmte wordt afgekoeld, goede isolatie en een hoge reflectiviteit. temperatuur evenwicht.
(4), de oven aluminiumoxide draad fijn en lang, hoge temperatuurbestendigheid, sterke koelkapaciteit tegen warmte stijging
(5), het oppervlak van de oven is schoon en niet gemakkelijk om poeder af te vallen.

(Alle ingevoerde apparaten zijn UL gecertificeerd)